MS-500氧气分析仪日本东丽TORAY
简要描述:
MS-500氧气分析仪日本东丽TORAY多可以同时测量8个点可以显示从ppm级到100%的多种浓度。非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。传感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法兰)特殊涂层应用于高度耐用的传感器,以进一步提高耐用性
产品型号:
产品时间:2024-05-21
MS-500氧气分析仪日本东丽TORAY
- 多可以同时测量8个点
- 可以显示从ppm级到100%的多种浓度。
- 非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。
- 传感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法兰)
- 特殊涂层应用于高度耐用的传感器,以进一步提高耐用性
MS-500氧气分析仪日本东丽TORAY
MS-500设备规格
测量原理 | 氧化锆轻型电池 | ||
---|---|---|---|
形状 | 分体式(转换器:壁挂式,传感器:直接插入式) | ||
显示方式 | 4位数字显示(密度显示) | ||
测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20〜10 -0大气压 自动范围 | ||
重复性 | 在±0.5%FS 0-1%范围内或更高 ±1%FS以下或≤± 0.1ppm大于0-1ppm的0-1%内,atm范围超出了保证的浓度范围 | ||
测量点数 | 1-8 | ||
样气条件 | 压力 | 10 -3至200 KPa(压力) | |
流量 | 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然扩散状态的测量) | ||
湿度 | 露点低于环境温度 | ||
温度 | 0-100℃ | ||
其他 | 不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫化物的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。 | ||
比较气 | 大气层 | ||
记录仪输出 | 仅变速箱输出 | ||
变速箱输出 | RS-232C | ||
报警输出 | 没有 | ||
热身时间 | 6分钟以内 | ||
尺寸 | MS-500(控制器) | 92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起) | |
MS-510(转换器) | 100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起) | ||
传感器单元 | SD16NW | 总长100 mm(感应部分Φ11×39,主体部分Φ40×51) | |
SD25NW | 总长100mm(感应部分Φ11×42,主体部分Φ40×48) | ||
SD40NW | 总长100 mm(感应部分Φ11×41,主体部分Φ40×49) | ||
大众 | MS-500(控制器) | 约0.6Kg | |
MS-510(转换器) | 约0.5kg | ||
传感器单元 | SD16NW | 约0.2Kg | |
SD25NW | 约0.2Kg | ||
SD40NW | 约0.35Kg | ||
外部连接 | 真空法兰之一(NW16、25、40) | ||
使用电源 | 24VDC±10% |
氧气计LC-450A,LC-450D
可以显示各种浓度,从在各种浓度到100%的测量ppm水平。- 改进的传感器耐用性
氧气传感器经过特殊处理,以提高其耐用性。 - 交流宽电源AC100-240VAC(LC-450A)
* LC-450D由24V DC驱动 - 紧凑且易于安装
深度比我们的传统型号还要短,并且不会占用太多空间。 - 符合RoHS的产品
- CE标志自我声明产品
EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003
LC-450A设备规格
测量原理 | 氧化锆轻型电池 | ||
---|---|---|---|
形状 | 桌面型/面板安装型 | ||
显示方式 | 4位数字显示(密度显示) | ||
测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20〜10 -0 ATM自动范围 | ||
重复性 | 在±1%FS 0-1ppm之内,大气压范围超出了保证的浓度范围 | ||
取样方式 | 内置泵的连续吸入型 | ||
样气条件 | 压力 | 加压30 KPa以下 | |
流量 | 1,000-2,000毫升/分钟 | ||
湿度 | 露点低于环境温度 | ||
温度 | 0-50℃ | ||
其他 | 不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫化物的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。 | ||
比较气 | 大气层 | ||
记录仪 输出 | 氧气浓度输出 | 在4-20mA和0-20mA之间切换(可选0-10V)绝缘,负载电阻550Ω或更小 记录仪输出范围为满量程,线性输出至氧气浓度 | |
输出范围 | 0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自动/固定范围 | ||
变速箱输出 | RS-232C | ||
报警输出 | 失败(设备错误) | 1分 | 非电压接点,接点容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下 设备异常导致接点闭合(可以更改接点操作) |
ALM(浓度警报) | 2点(H / L) | 非电压接点,接点容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下 发生警报时触点闭合(可以更改接点操作) | |
RDY(预热信号) | 1分 | 非电压接点,接点容量30VDC / AC以下,0.5A以下
| |
MRK(范围标记)输出 | 2分 | 非电压接点,接点容量30VDC / AC以下,0.5A以下 | |
热身时间 | 5分钟以内 | ||
尺寸 | 身体 | 210(W)x 134(H)x 300(D)mm(不包括突起) | |
大众 | 约6kg | ||
气体 连接口 | 进口 | Rc1 / 4 | |
旁路输出 | Rc1 / 4 | ||
出口 | Rc1 / 4 | ||
使用电源 | 100-240VAC,50VA(稳定:35VA)50Hz / 60Hz |
LC-450D设备规格
测量原理 | 氧化锆轻型电池 | ||
---|---|---|---|
形状 | 桌面型/面板安装型 | ||
显示方式 | 4位数字显示(密度显示) | ||
测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20〜10 -0 ATM自动范围 | ||
重复性 | 在±1%FS 0-1ppm之内,大气压范围超出了保证的浓度范围 | ||
取样方式 | 内置泵的连续吸入型 | ||
样气条件 | 压力 | 加压30 KPa以下 | |
流量 | 〜1,500L /分钟 | ||
湿度 | 露点低于环境温度 | ||
温度 | 0-50℃ | ||
其他 | 不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫化物的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。 | ||
比较气 | 大气层 | ||
记录仪 输出 | 氧气浓度输出 | 0-10VDC,绝缘,负载电阻600kΩ或更高 (选件:4-20mADC,绝缘,负载电阻550Ω或更低) 记录仪输出范围为满量程,线性输出至氧气浓度 | |
输出范围 | 0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自动/固定范围 | ||
变速箱输出 | RS-232C | ||
报警输出 | 失败(设备错误) | 1分 | 非电压接点,接点容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下 设备异常导致接点闭合(可以更改接点操作) |
ALM(浓度警报) | 2点(L / LL) | 非电压接点,接点容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下 发生警报时触点闭合(可以更改接点操作) | |
RDY(预热信号) | 1分 | 非电压接点,接点容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下 在预热操作期间触点闭合(可以更改触点操作)
| |
MRK(范围标记)输出 | 2分 | 非电压接点,接点容量30VDC / AC以下,0.5A以下 | |
热身时间 | 5分钟以内 | ||
尺寸 | 身体 | 240(W)x 134(H)x 210(D)mm(不包括突起) | |
大众 | 约5kg | ||
气体 连接口 | 进口 | Rc1 / 8 | |
旁路输出 | Rc1 / 8 | ||
出口 | Rc1 / 8 | ||
使用电源 | 24VDC±10%,1.25A(30VA,稳态) |
氧气计LC-860
- 低浓度测量
可以测量ppb到100% - 操作简便
按功能可轻松操作 - 吹扫功能
比较气体更稳定,测量更(仅适用于具有吹扫功能的规格) - 高可靠性传感器传感器
内部还可以进行防劣化处理(可选)
LC-860设备规格
测量原理 | 氧化锆轻型电池 | ||
---|---|---|---|
形状 | 桌面型/面板安装型 | ||
显示方式 | 6位数字显示(密度显示) | ||
测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20〜10 -0大气压 自动/固定范围 | ||
重复性 | 氧气浓度在±1%FS之内且小于1ppm和0-1ppm,大气压范围超出保证的浓度范围 | ||
取样方式 | 内置泵的连续吸入型 | ||
样气条件 | 压力 | 加压30 KPa以下 | |
流量 | 〜1,500mL /分钟 | ||
湿度 | 露点低于环境温度 | ||
温度 | 0-50℃ | ||
其他 | 不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫化物的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。 | ||
比较气 | 大气层 | ||
记录仪 输出 | 氧气浓度输出 | 4-20mA / 0-10V 4-20mA :绝缘,负载电阻为600Ω或更低 0-10V:绝缘,负载电阻为500Ω或更高 记录仪输出范围为满量程,线性输出至氧气浓度 | |
输出范围 | 0-100%,0-10%,0-1%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm,0-1ppm,10 -20 -10 -0 或自动/固定范围的任意4个范围 | ||
变速箱输出 | RS-232C | ||
报警输出 | 失败(设备错误) | 1分 | 非电压接点,接点容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小 由于设备异常,触点闭合(可以更改触点操作) |
ALM(浓度警报) | 2分 | 非电压接点,接点容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小 发生警报时,触点闭合(可以更改触点操作) | |
RDY(预热信号) | 1分 | 非电压接点,接点容量24VDC / AC或更小,0.5A或更小 预热操作期间触点闭合(可以更改触点操作)
| |
MRK(范围标记)输出 | 3分 | 非电压接点,接点容量24VDC / AC以下,0.1A以下 | |
热身时间 | 20分钟以内 | ||
尺寸 | 身体 | 288(W)x 144(H)x 400(D)mm(不包括突起) | |
大众 | 约10kg | ||
气体 连接口 | 进口 | Rc1 / 8 | |
旁路输出 | Rc1 / 8 | ||
出口 | Rc1 / 4 | ||
使用电源 | 100-120VAC±10%200VA 50Hz / 60Hz的 |
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