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日本进口OKKSG大宫工业晶圆移载机OTS-15

日本进口OKKSG大宫工业晶圆移载机OTS-15

简要描述:

日本进口OKKSG大宫工业晶圆移载机OTS-15
OTD-25
OTD-35
类型表达式
OTS-15
OTS-15
(独立)
OTD-25
OTD-25
(桌面类型)
OTD-35
OTD-35
(桌面类型)
步进数I. 舞台
(盒式×1)II 阶段
(盒式× 1, 船× 1)III 阶段
(盒式× 2, 船× 1)
驱动系统电机驱动(伺服)
转移格式1ca 异种盒间移载1ca t

产品型号:OTD-25

产品时间:2022-03-21

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日本进口OKKSG大宫工业晶圆移载机OTS-15

OTD-25

OTD-35

特点

粒子生成预防

电机驱动可防止颗粒生成。

*的晶圆夹头结构

我们*的晶圆夹头结构可抑制晶圆输送过程中的晃动,确保转移到石英船,并准确、安全地运输重物,如化合物晶圆

特点

粒子生成预防

电机驱动可防止颗粒生成。

*的晶圆夹头结构

我们*的晶圆夹头结构可抑制晶圆输送过程中的晃动,确保转移到石英船,并准确、安全地运输重物,如化合物晶圆

类型表达式
OTS-15
OTS-15
(独立)
OTD-25
OTD-25
(桌面类型)
OTD-35
OTD-35
(桌面类型)
步进数I. 舞台
(盒式×1)
II 阶段
(盒式× 1, 船× 1)
III 阶段
(盒式× 2, 船× 1)
驱动系统电机驱动(伺服)
转移格式1ca 异种盒间移载1ca to 1bt 双向移載2ca to 1bt 双向移載
转移
斯皮德
Min40秒
+
盒式交换时间
Min50 秒(可调节)Min90 秒(可调节)
设备尺寸W400×D510×H1187(㎜)W433×D490×H625(㎜)W629×D490×H625(㎜)
安全机制盒有无、晶片有无、过载检测、异常警报、紧急停止
电源AC200V(50/60Hz)


日本进口OKKSG大宫工业晶圆移载机OTS-15

半导体和零件制造设备


  • 旋转干燥机

    它是一种通过旋转产生的离心力和吸入气流的作用来
    干燥晶圆上的水滴和水分的装置。



  • 晶圆移载机

    将晶圆从载体或载体双向传输到
    船的设备。



  • 托架清洗机
    托架清洗机

    晶圆载体和载体盒的
    清洁和干燥设备。



  • 晶圆安装器

    具有层压机和安装器两种
    功能的胶带贴片装置。



  • BG 胶带层压机

    用于粘贴用于表面保护的背磨
    胶带的自动设备。



  • 磁带删除器

    使用剥离胶带剥离保护膜(如晶圆或贴在基板上的 BG 胶带)的设备。



  • 紫外线照射机

    UV 固化胶带/薄膜的紫外线照射和
    固化设备。



  • 晶圆扩展器

    它是一种晶圆扩展装置,只需轻轻一触,即可嵌入夹持环并
    切割胶带。




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