日本进口OKKSG大宫工业晶圆移载机OTS-15
简要描述：
日本进口OKKSG大宫工业晶圆移载机OTS-15OTD-25OTD-35类型表达式OTS-15OTS-15（独立）OTD-25OTD-25（桌面类型）OTD-35OTD-35（桌面类型）步进数I. 舞台（盒式×1）II 阶段（盒式× 1， 船× 1）III 阶段（盒式× 2， 船× 1）驱动系统电机驱动（伺服）转移格式1ca 异种盒间移载1ca t
产品型号：OTD-25
产品时间：2023-05-23
打印当前页日本进口OKKSG大宫工业晶圆移载机OTS-15
OTD-25
OTD-35
特点
粒子生成预防
电机驱动可防止颗粒生成。
*的晶圆夹头结构
我们*的晶圆夹头结构可抑制晶圆输送过程中的晃动，确保转移到石英船，并准确、安全地运输重物，如化合物晶圆
特点
粒子生成预防
电机驱动可防止颗粒生成。
*的晶圆夹头结构
我们*的晶圆夹头结构可抑制晶圆输送过程中的晃动，确保转移到石英船，并准确、安全地运输重物，如化合物晶圆
| 类型表达式 | OTS-15  （独立） | OTD-25  （桌面类型） | OTD-35  （桌面类型） |
|---|---|---|---|
| 步进数 | I. 舞台 （盒式×1） | II 阶段 （盒式× 1， 船× 1） | III 阶段 （盒式× 2， 船× 1） |
| 驱动系统 | 电机驱动（伺服） | ||
| 转移格式 | 1ca 异种盒间移载 | 1ca to 1bt 双向移載 | 2ca to 1bt 双向移載 |
| 转移 斯皮德 | Min40秒 + 盒式交换时间 | Min50 秒（可调节） | Min90 秒（可调节） |
| 设备尺寸 | W400×D510×H1187(㎜) | W433×D490×H625(㎜) | W629×D490×H625(㎜) |
| 安全机制 | 盒有无、晶片有无、过载检测、异常警报、紧急停止 | ||
| 电源 | AC200V（50/60Hz） | ||
日本进口OKKSG大宫工业晶圆移载机OTS-15
半导体和零件制造设备
旋转干燥机它是一种通过旋转产生的离心力和吸入气流的作用来
干燥晶圆上的水滴和水分的装置。
晶圆移载机将晶圆从载体或载体双向传输到
船的设备。
托架清洗机晶圆载体和载体盒的
清洁和干燥设备。
晶圆安装器具有层压机和安装器两种
功能的胶带贴片装置。
BG 胶带层压机用于粘贴用于表面保护的背磨
胶带的自动设备。
磁带删除器使用剥离胶带剥离保护膜（如晶圆或贴在基板上的 BG 胶带）的设备。
紫外线照射机UV 固化胶带/薄膜的紫外线照射和
固化设备。
晶圆扩展器它是一种晶圆扩展装置，只需轻轻一触，即可嵌入夹持环并
切割胶带。