物镜378-166-1三丰Mitutoyo显微镜FS70ZD
简要描述：
物镜378-166-1三丰Mitutoyo显微镜FS70ZDFS70Z※目镜、左轮、物镜是可选择的。・具有接眼观察部的小型显微镜单元是金属表面、半导体、液晶、树脂等多种多样的观察对象。・适用于YAG激光器（近红外、可见、近紫外线、紫外线）的微细加工※1
产品型号：378-165-1
产品时间：2023-05-23
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FS70Z
※目镜、左轮、物镜是可选择的。
・具有接眼观察部的小型显微镜单元
是金属表面、半导体、液晶、树脂等多种多样的观察对象。
・适用于YAG激光器（近红外、可见、近紫外线、紫外线）的微细加工※1
半导体电路的切割、修剪、修正、标记、薄膜（绝缘膜）的去除、加工、液晶滤色器等修复（缺陷修正）等。作为半导体不良分析用处理器等光学观察部也是适合的。
・支持红外光学系统※2
硅系的内部观察、红外线的光谱特性分析等。
・将支持明场、暗场、简易偏振、微分干涉观察的机型上线
・在反射照明光学系统中标准装备有开口带光圈的笼子照明
・通过内华德堡和长工作距离物镜确保显微镜下的高操作性
※1：难以保证激光振荡器搭载系统的综合性能及安全性。
※2：另外需要红外光源和红外相机等。
標準接眼仕様 | 符号 | FS70Z | － | FS70ZD | FS70L | FS70L4 | |
コード No. | 378-165-1 | － | お問い合わせください | 378-166-1 | 378-167-1 | ||
ティルティング接眼仕様 | 符号 | － | FS70Z-TH | FS70ZD-TH | FS70L-TH | FS70L4-TH | |
コード No. | － | 378-165-3 | お問い合わせください | 378-166-3 | 378-167-3 | ||
| 正立像 | ||||||
観察像 | 明視野 | ● | ● |
| ● | ● | |
明暗視野 |
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| ● |
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簡易偏光 | ● | ● | ● | ● | ● | ||
微分干渉 | ● | ● | ● |
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接眼レンズ（必須オプション） | 10×（視野数 24）・15×（視野数 16）・20×（視野数 12） | ||||||
鏡筒 |
三眼鏡筒 | 視野数 | 24 | ||||
眼幅調整 | ジーデントップ型、調整範囲：51 ～ 76 mm | ||||||
ティルト角度 | 0 ～ 20°（-TH のみ）、アイポイント移動量約 114 mm | ||||||
光路 | 固定式 （接眼/ TV ＝ 50% / 50%） | 切換式 （接眼/ 直筒＝ 100%/ 0%： 0% / 100%） | 固定式 （接眼/ TV ＝ 50% / 50%） | 切換式 （接眼/ 直筒＝ 100%/ 0%：0% / 100%） | |||
カメラポートマウント部 | C マウント（アダプタ B※ 1 使用） アダプタBで同焦調整 | C マウント仕様 （同焦調整機構） | C マウント仕様 （グリーンフィルタ切換機構付 （同焦調整機構） | ||||
防護フィルタ | － | レーザ光カットフィルタ内蔵 | |||||
結像（チューブ）レンズ | 1 ～ 2 ×（可視補正）ズーム内蔵 | 1×（近赤外～可視～近紫外 補正）内蔵 | 1 ×（可視・紫外補正）内蔵 | ||||
レーザポート | 光学系 |
－ | 倍率：1× 波長： 355/532/1064 nm | 倍率：1× 波長：266/532 nm | |||
マウント部 | YAG レーザ発振器 （基本・第2・3 高調波）搭載可 | YAG レーザ発振器 （第 2・4 高調波）搭載可 | |||||
合焦部 | 粗微動 | 一軸粗微動（粗動：3.8 mm/ 1回転、微動：0.1 mm/ 1回転） | |||||
移動量 | 50 mm、左右ハンドル | ||||||
反射照明光学系 | 明視野落射照明（ケーラ照明・開口絞り付） | ||||||
照明装置（オプション） | 12 V、100W ファイバ照明装置（No.378-700）/15 V、150W ファイバ照明装置（176-316）いずれも無段階ボリューム調光式、ライトガイド長 =1500 mm | ||||||
レボルバ（必須オプション） | 調心同焦マニュアルレボルバ4穴 / 調心電動レボルバ 5 穴 | マニュアルレボルバ4 穴 / 電動レボルバ4 穴 | 調心同焦マニュアルレボルバ4 穴 / 調心電動レボルバ 5 穴 | ||||
対物レンズ （必須オプション） |
観察用 | M Plan Apo M Plan Apo HR M Plan Apo SL G Plan Apo | BD Plan Apo BD Plan Apo HR BD Plan Apo SL | M Plan Apo M Plan Apo HR M Plan Apo SL G Plan Apo NIRシリーズ | |||
レーザ加工用 | － | NUVシリーズ ※レーザ発振器の使用波長から選択 | UVシリーズ | ||||
鏡筒部積載可能質量※ 2 | 約 14 kg（-TH：約 13.2 kg） | 約 13.9 kg（-TH：約 13.1 kg） | |||||
外観寸法 | P.27 参照 | ||||||
本体質量 | 6.6 kg（-TH：7.4 kg） | 6.7 kg（-TH：7.5 kg） | |||||
物镜378-166-1三丰Mitutoyo显微镜FS70ZD
| UCHIMURA | 102HB2-EP |
| UCHIMURA | 603AF-N |
| UCHIMURA | 103AF-N |
| TOGI | BOXTM-2001 |
| HIBLOW | KP-6035S |
| HORIBA | 6108-50B |
| IHARA | KSS08-020E |
| IHARA | SLC03-000J |
| IHARA | SNP03-000J |
| IHARA | SNP02-000J |
| IHARA | KLN10-030CE |
| IHARA | KLA10-000CE |
| hirose | HT-728-02 |
| ESTOOL | HRF150 |
| TSUBAKI | BDTM101 |
| EIKO SOKKI | T300K-007 |
| HIOKI | LR8450 |
| HIOKI | U8551 |
| shinetsu | ST-65DG |
| YOKOGAWA | 278610 |
| MITUTOYO | 468-169 |