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堀场HORIBA红外线辐射温度计

堀场HORIBA红外线辐射温度计

简要描述:

堀场HORIBA红外线辐射温度计IT-470F-H
这是高精度的仪器安装式辐射温度计,它采用了内部开发的高度发达的热电堆传感器,并结合了辐射温度计开发的多年专业知识。
它有助于改善需要高精度温度测量的领域的工艺稳定性,例如半导体和FPD制造。

产品型号:IT-470F-H

产品时间:2023-05-18

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IT-470F-H堀场HORIBA红外线辐射温度计特点: 

  • 高精度:±0.1°C 和再现性(2σ):0.1°C 实现
  • 在150 mm的测量距离内实现mm8 mm的窄视场
  • 两个输出:多功能电流输出和光学数字输出,不易受电磁感应噪声的影响

※在一定条件下使用时是能力值。

使用

  • 基座温度测量例在真空室中时,
    可以是从真空室外部温度测量通过所述基座的一个窗口。
  • FPD制造过程中液晶基板的表面温度测量示例
    非接触式测量不会损坏待测物体的表面。
  • 抛光时的温度控制示例
    非接触式测量不会损坏待测物体的表面。

堀场HORIBA红外线辐射温度计技术参数: 

测量波长

8至14微米

测量温度范围

-50至200°C

输出分辨率

光学数字输出:0.1°C,电流输出:0.025%FS或更低

测量精度*
(光学数字输出)

±4.0°C(目标温度-50°C)
±0.8°C(目标温度-20°C)
±0.6°C(目标温度0°C)
±0.5°C(目标温度23°C)
±0.4°C(目标温度100°C~)
(中间)该点是线性插值并四舍五入到小数点后第二位)

再现性
(光学数字输出)

0.7°C(目标温度-50°C)
0.5°C(目标温度23°C)
0.5°C(目标温度200°C)
(发射率测量10次,1000次,2σ)

响应速度
(光学数字输出)

光学数字输出:小于1.4秒(移动平均1秒,95%响应)

数据采样期

0.1秒

数据传输率

光学数字输出:0.2秒,电流输出:0.1秒

测量视野

8 8毫米或更少/距离150毫米(入射光量90%)

发射率设定

0.001至0.999可选(出厂时设定)

工作温度和湿度范围

温度0-55°C,相对湿度35-85%RH(无冷凝)

电源

DC24V±5%

功能

光学数字输出(JIS F05型),电流输出4至20 mA(负载电阻100Ω,非绝缘)法兰调整

物理尺寸

55 x 44 x 96 mm电源,带电流电缆(标准长度2 m)

300克以内

 

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